MÜNCHEN/REGENSBURG (CW) - Ein Wettlauf mit der Zeit ist nach wie vor der Versuch der Siemens AG, eine funktionierende Fertigung von Megabit-Speicherchips aufzubauen. Das Milliardenprojekt in der Oberpfalz wird allerdings keinen Profit abwerfen: Es dient nur dem Einstieg In eine neue Technik für Logik-Chips.
Investitionen in Höhe von 1,7 Milliarden Mark, dazu 800 Millionen Mark für Forschung und Entwicklung, 240 Millionen Mark staatliche Subvention - Beträge für ein einziges Projekt: Mit Hilfe des Mega-Chip-Projekts will Siemens langfristig eine auf dem Elektronik-Weltmarkt führende Position erobern. Doch nur derjenige kann, wie auch Siemens eingestellt, im Wettbewerb bestehen, der als einer der ersten über die neueste Technik verfügt.
Damit scheint es bei dem Konzern zu hapern - trotz des zugekauften Toshiba-Know-hows ist der Unternehmensbereich Bauelemente noch nicht in der Lage, serienmäßig 1-MBit-Speicher zu produzieren. Nach Insiderinformationen hat Siemens im Memorymarkt schon lange vor dem Regensburger Start keine Kostendeckung mehr erreichen können. Die IBM ist weiter: Sie baut in ihre neuen 3090-E-Modelle bereits die zweite Megachip-Generation ein.
Alle drei Jahre muß in diesem Geschäft eine weitere technische Stufe erreicht werden, will man Schritt halten. Und dabei kommt es tatsächlich nicht auf die Erlöse aus dem Verkauf der DRAMs an. So betont denn auch Siemens-Vorstandschef Karlheinz Kaske, daß das eigentliche Ziel des Unternehmens nicht die Produktion von Speicherbausteinen ist. Viel wichtiger sei, die Submikron-Strukturen zu beherrschen, damit Siemens in den neunziger Jahren in zunehmendem Maße Logikbausteine für den Markt und für die eigenen Produkte und Systeme herstellen könne. Dafür nehme man erhebliche Entwicklungs- und Anlaufkosten in Kauf.
Der DRAM-Chip, der nun ab diesen Jahr die Reinsträume an der Donau verlassen soll, erfordert eine Strukturfeinheit von 1,2 Mikrometer, um auf einer Fläche von 54 Quadratmillimetern eine Million Bits unterzubringen. Darum muß jetzt noch vor allein die Filterung der einströmenden Luft, drastisch verbessert werden, denn viel kleinere Partikel führen nun schon zu astronomischen Ausschußraten.
Kosten- und zeitmäßig liegt Siemens trotz aller Widrigkeiten mit beiden Megabit-Speichern im Plan, behauptet Konzernchef Kaske. Im Rahmen eines Verbundprojekts "Submikron-Technologie" untersucht der Münchener Elektronikkonzern bereits den nächsten Schritt der fertigungstechnischen Evolution, die Röntgenbelichtung. Mit dieser Technik wollen die Forscher die Voraussetzungen für die Entwicklung eines 16- und sogar eines 64-Megabit-Chips schaffen.